特許
J-GLOBAL ID：200903096110184720
基板洗浄具及び基板洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020181
公開番号（公開出願番号）：特開2002-222788
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液を安定して吐出でき,基板の汚染や損傷を防止し,かつ形状が崩れない基板洗浄具及びこの基板洗浄具を用いる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】 基板洗浄装置7では,純水供給路35から供給される純水を,下部部材33の流路36及び取付具33の流路37に流して洗浄ブラシ24内に供給する。洗浄ブラシ24は,本体60と,透水性の芯材62と,芯材62に被覆された樹脂シート63とを備え,芯材62は,純水を芯材62の下面に流す流路66と,芯材の側面への純水の漏水を防止する遮蔽シート68とを備えている。下部部材33の流路36にはエア排気路38が接続され,流路36,37内のエアを適宜排気する。
請求項（抜粋）：
基板を洗浄する洗浄具であって,洗浄液を基板に供給するための洗浄液供給路と,前記洗浄液供給路から洗浄液が供給される透水性の芯材とを備え,前記芯材は,芯材内に設けられた前記洗浄液供給路から供給される洗浄液を芯材の下面に流す流路と,芯材の側面への洗浄液の漏水を防止する遮蔽シートを備え,前記芯材には透水性の多孔質膜が被覆されていることを特徴とする,基板洗浄具。
IPC (4件)：
H01L 21/304 644
, B08B 3/02
, B08B 3/12
, G02F 1/13 101
H01L 21/304 644 G
, B08B 3/02 A
, B08B 3/12 A
, G02F 1/13 101
2H088FA21
, 2H088MA20
, 3B201AA03
, 3B201AB03
, 3B201AB33
, 3B201BA12
, 3B201BB33
, 3B201BB83
, 3B201BB93
, 3B201CD11
