特許
J-GLOBAL ID：200903085986261258

基板洗浄具及び基板洗浄方法

発明者：
廣瀬 圭蔵

廣瀬 圭蔵 について

, 
関口 賢治

関口 賢治 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344935
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260784
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 パ-ティクルが付着しにくく、しかも洗浄が容易な基板洗浄具を提供すること。【解決手段】 洗浄液供給管2の回りに気密かつ回転自在に回転筒3を嵌合し、回転筒3の出口側開口部を多数の通流孔42を備えた水流分散板41で覆い、さらに水流拡散板41の外側に樹脂シ-ト43を、回転筒3の出口側開口部に塞ぎかつ外側に膨らむように設ける。回転筒3内に供給された洗浄液は水流拡散板41を介して樹脂シ-ト43内に通流していき、樹脂シ-ト43及び回転筒3内部に貯留され、回転筒3内が洗浄液の貯留により加圧されると、洗浄液が樹脂シ-ト43の微細な孔から吹き出していく。樹脂シ-ト43により基板を擦って基板の洗浄が行われるが、樹脂シ-ト43の材質及び洗浄液を吹き出させる構成により、樹脂シ-ト43にはパ-ティクルが付着しにくい。
請求項（抜粋）：
洗浄液を基板に供給するための洗浄液供給路部材と、この洗浄液供給路部材の出口を塞いで外側に膨らむように設けられ、多数の微細な孔を有する、基板を擦するための樹脂シ-トと、を備え、前記洗浄液は、樹脂シ-トの内側で加圧されて当該樹脂シ-トの微細な孔から吹き出すことを特徴とする基板洗浄具。
IPC (7件)：
H01L 21/304 644 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 643 ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/08 ,  B08B 3/12 ,  B08B 7/04
FI (7件)：
H01L 21/304 644 G ,  H01L 21/304 644 B ,  H01L 21/304 643 A ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/08 Z ,  B08B 3/12 Z ,  B08B 7/04 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開昭59-019329
  • スクラブ洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-045153   出願人：ソニー株式会社
  • ITO残渣の除去・洗浄方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-309909   出願人：グンゼ株式会社
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審査官引用 (7件)
  • 特開昭59-019329
  • 特開昭59-019329
  • スクラブ洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-045153   出願人：ソニー株式会社
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