特許
J-GLOBAL ID：200903096144764598

レーザ加工機およびレーザ発振体の固定方法

発明者：
楠 昌好

楠 昌好 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163442
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 レーザ発生装置をレーザシステムの基台に固定することによるレーザ発生装置の光学系アライメントの狂いを防止すること。【解決手段】 YAG結晶を含む基本波発振部と基本波発振部から出力された基本波の波長を高調波に変換する波長変換結晶とがベース板6上に搭載されるレーザ発振体1と、レーザ発振体1から出力されるレーザ光をレーザ加工部に導く光学系とレーザ発振体1のベース板6とが固定される基台14と、ベース板6および基台14よりも剛性が低く、ベース板6と基台14の間に設けられ、基台14に対してベース板6が有する反りを補償する反り補償部材30と、反り補償部材30を介して、ベース板6と基台14とをベース板6が歪まない程度に締結する少なくとも三つのネジ部31とを備えることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
YAG結晶を含む基本波発振部と前記基本波発振部から出力された基本波の波長を高調波に変換する波長変換結晶とがベース板上に搭載されたレーザ発振体と、前記レーザ発振体から出力されるレーザ光をレーザ加工部に導く光学系と、前記レーザ発振体の前記ベース板とが固定される基台と、前記ベース板および前記基台よりも剛性が低く、前記ベース板と前記基台の間に設けられ、前記基台に対して前記ベース板が有する反りを補償する反り補償部材と、前記反り補償部材を介して、前記ベース板と前記基台とを前記ベース板が歪まない程度に締結する少なくとも三つのネジ部と、を備えることを特徴とするレーザ加工機。
IPC (3件)：
H01S 3/02 ,  H01S 3/109 ,  B23K 26/00
FI (3件)：
H01S 3/02 Z ,  H01S 3/109 ,  B23K 26/00 A
引用特許：
審査官引用 (8件)
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