両面研磨装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 植木久一 , 村松敏郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314997
公開番号（公開出願番号）：特開2004-148425
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】ワークを均一に研磨する一方、装置の大型化を効果的に抑える。【解決手段】ウエハWを保持するキャリア12を上下の定盤14,16により挟み、これら定盤14,16の回転駆動によりウエハWを上下両側から研磨する。キャリア12は外歯車からなり、偏心継手52を介して定盤14,16の回転中心と同一軸線上に配置される駆動主軸50の上端に連結される。偏心継手52は、駆動主軸50に対して偏心する連結軸52bが設けられており、キャリア12は、その中心においてこの連結軸52bに回転可能に連結されている。また、キャリア12の外側には、駆動主軸50と同心円上に内歯車60が配設されており、キャリア12の一部がこの内歯車60に噛合している。駆動主軸50は、平面視でキャリア12の外周より回転半径方向内側に配設されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

キャリアに保持したワークを一対の研磨定盤により表裏両側から挟み、この状態で各研磨定盤をそれらの並び方向の軸回りに回転させるとともに、前記キャリアを研磨定盤の研磨面と平行な方向に移動させて前記ワークを研磨する両面研磨装置において、前記研磨定盤の回転軸と平行で、かつ該回転軸に対して所定距離だけ偏心した垂直軸回りに前記キャリアを回転させるとともに、前記研磨定盤の回転軸回りに前記キャリアを円運動させるキャリア駆動手段を備え、さらに研磨定盤の回転軸が前記キャリアの外周よりも回転半径方向内側に位置するように前記キャリアおよび研磨定盤が設けられていることを特徴とする両面研磨装置。

IPC (2件)：

B24B37/04 , H01L21/304

FI (2件)：

B24B37/04 F , H01L21/304 621A

Fターム (8件)：

3C058AA07 , 3C058AA11 , 3C058AA16 , 3C058AB01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058DA06 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (7件)

研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-010666 出願人：住友特殊金属株式会社
特開昭61-090870
両面同時研磨加工方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-292559 出願人：住友金属工業株式会社

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