電子部品の評価方法および評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343332
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】各種の薄膜の品質を製造ライン内で多面的に評価することにより、品質向上や高歩留りを得る電子部品の評価方法および評価装置を提供する。【解決手段】この評価方法では、基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、基板の検査を行い評価する。

請求項（抜粋）：

基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、前記基板の検査を行い評価する、電子部品の評価方法。

IPC (7件)：

G01N 21/95 , G01B 11/06 101 , G01B 11/30 , G01M 11/00 , G01N 21/27 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

FI (7件)：

G01N 21/95 Z , G01B 11/06 101 Z , G01B 11/30 A , G01M 11/00 T , G01N 21/27 B , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

Fターム (79件)：

2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB03 , 2F065BB15 , 2F065CC17 , 2F065CC25 , 2F065CC31 , 2F065DD02 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG16 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL01 , 2F065LL04 , 2F065LL26 , 2F065LL28 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL67 , 2F065MM01 , 2F065MM02 , 2G051AA42 , 2G051AA61 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA05 , 2G051BB07 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA05 , 2G051EA17 , 2G059AA03 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059BB16 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE13 , 2G059GG03 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059KK04 , 2G086EE01 , 2G086EE04 , 2G086EE05 , 2G086EE10 , 2H088FA10 , 2H088FA12 , 2H088FA17 , 2H088FA25 , 2H088FA26 , 2H088FA30 , 2H088HA03 , 2H088MA16 , 2H088MA18 , 5G435AA00 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB06 , 5G435EE33 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (11件)

カラー試料の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-006425 出願人：大日本印刷株式会社
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-008920 出願人：松下電器産業株式会社
異物検査方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-319838 出願人：松下電器産業株式会社

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