特許
J-GLOBAL ID：200903096295992517
高周波MEMSスイッチ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-379390
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142982
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】低い電圧で安定に動作する安価なMEMSスイッチ及びその製造方法を提供すること。 【解決手段】基板3上に形成された第一のアンカ7-2-1と、第一のアンカに連接した第一のバネ7-3-1と、第一のバネに連接し、第一のバネに弾性変形を与えて基板3の上方で運動をする上部電極7-1と、上部電極の下方に位置する基板上に形成された下部電極1と、上部電極に連接した第二のバネ7-3-2と、第二のバネに連接した第二のアンカ7-2-2とを備え、上部電極と下部電極との間に電圧が印加されて上部電極が下方に運動するとき、第二のアンカが基板に接触して第二のバネが弾性変形を起こし、続いて上部電極が下部電極に接触することにより、上部電極と下部電極とが電気的に接続される。第一、二のアンカ、第一、二のバネ及び上部電極が同一金属によって一体構造で作製され、メンブレン7となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、
上記基板上に形成された第一のアンカと、
上記第一のアンカに連接した第一のバネと、
上記第一のバネに連接し、上記第一のバネに弾性変形を与えて上記基板の上方で運動をする上部電極と、
上記上部電極の下方に位置する上記基板上に形成された下部電極と、
上記上部電極に連接した第二のバネと、
上記第二のバネに連接した第二のアンカとを具備し、
上記上部電極と上記下部電極との間に電圧が印加されて上記上部電極が下方に運動するとき、上記第二のアンカが上記基板に接触して上記第二のバネが弾性変形を起こし、続いて上記上部電極が上記下部電極に接触することにより、上記上部電極と上記下部電極とが電気的に接続されることを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (4件)：
H01P1/12
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H59/00
H01P1/12
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H59/00
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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