特許
J-GLOBAL ID：200903039656078447

光走査装置とその製造方法、光書込装置、画像形成装置、振動ミラーチップとその製造方法、光走査モジュール

発明者：
佐藤 幸人

佐藤 幸人 について

, 
藤井 光美

藤井 光美 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 鈴木 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-216250
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172897
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 梁をねじり回転軸としてミラー基板を往復振動させる光走査装置において、安定なビーム形状での光走査を可能にする。【解決手段】 ミラー基板101のミラー面115の形成されない裏面に、少なくとも梁102,103と直交する方向に延びる補強用状リブ121が形成され、それ以外の領域には肉抜き領域とされる。この補強用リブ121を設けることによって、ミラー基板101の振動時における変形が効果的に抑えられてミラー面115の平坦性が維持されるため、安定したビーム形状での光走査が可能である。補強用リブについては、ミラー基板の外縁をとり囲むように設ける等、様々な態様が開示される。また、ミラー基板を薄膜と枠体とから構成した態様も開示される。
請求項（抜粋）：
同一直線上に設けられた2本の梁で支持されたミラー基板と、前記梁をねじり回転軸として前記ミラー基板を往復振動させるためのミラー駆動手段を有する光走査装置において、前記ミラー基板に、その変形を抑えるための補強部が形成されたことを特徴とする光走査装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  B41J 3/00 D
Fターム (6件)：
2C362BA18 ,  2C362BA42 ,  2C362BA49 ,  2H045AB08 ,  2H045AB73 ,  2H045DA02
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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