特許
J-GLOBAL ID:200903096326753630
レーザ加工装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-080529
公開番号(公開出願番号):特開2007-253189
出願日: 2006年03月23日
公開日(公表日): 2007年10月04日
要約:
【課題】高効率、高出力および高安定のレーザ、特にシングルモードの加工用レーザ光でレーザ加工を行うこと。【解決手段】このレーザ加工装置は、アンプファイバ10、種レーザ発振部12、ファイバコア励起部14、レーザ出射部16、制御部20、光センサ64等を有している。アンプファイバ10の一端面10aに種レーザ発振部12からのQスイッチパルスの種レーザ光SBが入り、他端面10bにファイバコア励起部14からの連続発振のコア励起光FBが入る。種レーザ光SBは、アンプファイバ10を伝搬する間に活性状態のコアの中で増幅され、高出力の加工用レーザ光MBとしてアンプファイバ10の他端面10bより外へ出る。光センサ64は、加工用レーザ光MBのレーザ出力を種レーザ発振部12にフィードバックする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
種レーザ光を発振出力する種レーザ発振部と、
所定の希土類元素を含むコアを有し、前記種レーザ発振部からの前記種レーザ光を一端より前記コアの中に入れて他端まで伝搬させる増幅用の光ファイバと、
前記増幅用光ファイバのコアの中で前記種レーザ光を増幅するために前記コアを励起するファイバコア励起部と、
前記増幅用光ファイバの他端より増幅された種レーザ光として取り出される加工用レーザ光を被加工物に向けて照射するレーザ出射部と、
前記加工用レーザ光のレーザ出力を測定するレーザ出力測定部と
を有し、前記レーザ出力測定部より得られるレーザ出力測定値を前記種レーザ発振部にフィードバックして前記種レーザ光のレーザ出力を制御するレーザ加工装置。
IPC (3件):
B23K 26/00
, B23K 26/08
, H01S 3/10
FI (4件):
B23K26/00 N
, B23K26/08 K
, B23K26/08 B
, H01S3/10
Fターム (15件):
4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CB01
, 4E068CE03
, 4E068CE08
, 4E068CK01
, 5F172AE03
, 5F172AE12
, 5F172AF05
, 5F172EE13
, 5F172NN23
, 5F172NP03
, 5F172NQ06
, 5F172NS02
, 5F172ZZ01
引用特許:
出願人引用 (6件)
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レーザマーカ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-186471
出願人:サンクス株式会社
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レーザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-123591
出願人:ミヤチテクノス株式会社
-
光増幅装置、光源装置、及び光照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-058983
出願人:株式会社ニコン
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審査官引用 (6件)
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レーザマーカ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-186471
出願人:サンクス株式会社
-
レーザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-123591
出願人:ミヤチテクノス株式会社
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光増幅装置、光源装置、及び光照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-058983
出願人:株式会社ニコン
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