特許
J-GLOBAL ID：200903096330125163
液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-039443
公開番号（公開出願番号）：特開2005-230923
出願日： 2004年02月17日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】オスカー型研磨機を用いた研磨処理において、カラーフィルタ表面の全面をより均一に研磨し、着色層の膜厚のバラツキを大幅に縮小させることのできる液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法を提供する。【解決手段】研磨液をチューブポンプにて滴下して研磨クロスに供給する際に、チューブの吐出口の開口面積を0.75mm2 以下とし、研磨液の吐出量を5〜20g/分とし、研磨中は継続して供給する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
オスカー型研磨機を用い、研磨液を研磨クロスに供給しながらカラーフィルタ表面を研磨する液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法において、研磨液をチューブポンプにて滴下して研磨クロスに供給する際に、チューブの吐出口の開口面積を0.75mm2 以下、外径を2.0mm以下とし、研磨液の吐出量を5〜20g/分とし、研磨中は継続して供給することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法。
IPC (4件)：
B24B37/00
, B24B57/02
, G02B5/20
, G02F1/1335
B24B37/00 K
, B24B57/02
, G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB28
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FC15
, 2H091GA01
, 2H091KA10
, 2H091LA18
, 2H091LA30
, 3C047FF08
, 3C047GG20
, 3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CB01
