成膜方法及び成膜装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-163690
公開番号（公開出願番号）：特開2005-000721
出願日： 2003年06月09日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】この発明は溶液を噴射塗布して薄膜を形成する場合に、その厚さを均一にすることができるようにした成膜方法を提供することにある。【解決手段】ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから、隣り合うノズルの間隔よりも小さな径のドットで溶液を基板に噴射塗布する成膜方法において、各ノズルから基板に溶液をドッドで噴射する工程と、ヘッドと基板とを所定方向に相対的に移動させて所定間隔の一対のノズルから最初に基板に噴射された一対のドット間の部分を複数のドットによって塗り潰す工程とを具備し、最初に基板に所定間隔で噴射された一対のドット間の部分は、最初に噴射塗布されたドットに最後に噴射塗布されるドットが隣接することのない順序で、複数のドットによって塗り潰す。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから、隣り合うノズルの間隔よりも小さな径のドットで溶液を基板に噴射塗布する成膜方法において、各ノズルから基板に溶液をドッドで噴射する工程と、上記ヘッドと基板とを上記所定方向に相対的に移動させて所定間隔の一対のノズルから最初に基板に噴射された一対のドット間の部分を複数のドットによって塗り潰す工程とを具備し、最初に基板に所定間隔で噴射された一対のドット間の部分は、最初に噴射塗布されたドットに最後に噴射塗布されるドットが隣接することのない順序で、複数のドットによって塗り潰すことを特徴とする成膜方法。

IPC (3件)：

B05D1/26 , B05C5/00 , B05C11/10

FI (3件)：

B05D1/26 Z , B05C5/00 101 , B05C11/10

Fターム (31件)：

4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075CA47 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA34 , 4F041BA57 , 4F041BA59 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA10 , 4F042AB00 , 4F042BA06 , 4F042BA12 , 4F042BA25 , 4F042CB03 , 4F042CB10 , 4F042CC07 , 4F042DF15

引用特許：

出願人引用 (3件)

塗布装置及び塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-294129 出願人：東京エレクトロン株式会社
インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-208013 出願人：富士ゼロックス株式会社
カラーフィルタの製造方法、製造装置、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び該表示装置を備えた装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-042397 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (5件)

カラ-フィルタの製造方法、この製造方法で製造されたカラ-フィルタを用いた液晶素子及びインクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-248650 出願人：キヤノン株式会社
塗布装置及び塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-294129 出願人：東京エレクトロン株式会社
塗布装置及び塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-275425 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社, 株式会社東芝

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