レーザ加工装置および該装置を用いた被加工物の加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：角田嘉宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-326389
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160463
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】溝幅が狭くピッチも狭い、導光板を容易に製造することが可能な、あるいはその他の加工が実施可能なレーザ加工装置等を提供することを目的とする。【解決手段】レーザ発振器と、集光レンズと、管状の内面鏡とを備え、集光レンズの焦点位置に入口が位置するよう管状の内面鏡を配設し発振器から照射され内面鏡の内面で多重反射された位相とパワー密度の異なるレーザ光の光線追跡と、この光線追跡で得られた結果を重ね合わせの原理に基づいて重ね合わせ、内面鏡の出口で生じる干渉じまの明の部分が出口の中心部に集束し外周に干渉じまの暗の部分が位置するように、内面鏡1の入口径、出口径、長さを決定した、レーザ加工装置において、内面鏡1の周囲を、下端が開口したカバー3で囲い、カバーに吸引口3Bを設けて、該吸引口を吸引装置5に接続した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、集光レンズと、管状の内面鏡とを備え、前記集光レンズの焦点位置に入口が位置するように前記管状の内面鏡を配設し前記発振器から照射され該内面鏡の内面で多重反射された位相とパワー密度の異なるレーザ光の光線追跡と、この光線追跡で得られた結果を重ね合わせの原理に基づいて重ね合わせて、該内面鏡の出口で生じる干渉じまの明の部分が該出口の中心部に位置しその外周に干渉じまの暗の部分が位置して、当該内面鏡の出口における中心部にパワーが集束するように、前記管状の内面鏡の入口径、出口径、長さを決定した、レーザ加工装置において、前記管状の内面鏡の周囲を、下端が開口したカバーで囲い、このカバーに吸引口を設けて、該吸引口を吸引装置に接続したことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K26/14 , B23K26/06

FI (2件)：

B23K26/14 A , B23K26/06 A

Fターム (17件)：

4E068AE01 , 4E068AF01 , 4E068AH02 , 4E068BA00 , 4E068CB06 , 4E068CB08 , 4E068CD05 , 4E068CD08 , 4E068CD15 , 4E068CG01 , 4E068CG02 , 4E068CH03 , 4E068CH07 , 4E068CH08 , 4E068CJ01 , 4E068DA09 , 4E068DB10

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-020682
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-292494 出願人：富士電機株式会社
特開平2-099293

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