拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：豊栖康司 , 豊栖康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-281382
公開番号（公開出願番号）：特開2004-239890
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】観察対象の高さを正確に測定可能な拡大観察装置等を提供する。【解決手段】拡大観察装置は、試料Sを載置するステージ30と、光学系11を介して入射する試料Sからの反射光または透過光を電気的に読み取るCCD12と、焦点を調整するステージ昇降器20とから構成される撮像部と、焦点を調整したときの焦点距離情報を、光軸方向とほぼ垂直な面内における試料の2次元位置情報と共に記憶するメモリ53と、CCD12によって読み取られた画像を表示する表示部52と、表示部52によって表示された画像の一部の領域を少なくとも一つ設定可能な入力部55と、焦点距離情報に基づいて、領域設定部によって設定された領域に対応する試料Sの光軸方向における平均高さを演算する制御部51とから構成される情報処理装置とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料を撮像するための撮像部と、前記撮像部で取得された信号に基づいて観察画像を表示するための表示部とを備える拡大観察装置であって、表示部で表示された観察画像の一部の領域を少なくとも一つ設定可能な領域設定部と、領域設定部によって設定された領域内の平均高さを演算し、所定の基準高さと対比して相対高さを演算するための演算部と、を備えることを特徴とする拡大観察装置。

IPC (3件)：

G01B11/02 , G02B21/00 , G02B21/36

FI (3件)：

G01B11/02 H , G02B21/00 , G02B21/36

Fターム (27件)：

2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065FF04 , 2F065FF10 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL13 , 2F065LL28 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ14 , 2F065QQ25 , 2F065QQ36 , 2F065SS02 , 2H052AA08 , 2H052AF02 , 2H052AF14 , 2H052AF23

引用特許：

出願人引用 (1件)

共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-256691 出願人：株式会社キーエンス

審査官引用 (6件)

共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-256691 出願人：株式会社キーエンス
非接触三次元測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161097 出願人：株式会社ミツトヨ
面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-290290 出願人：キヤノン株式会社

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