特許
J-GLOBAL ID：200903096532012948

光学的位置ずれ検出装置

発明者：
福井 達雄

福井 達雄 について

, 
青木 洋

青木 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-282532
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092249
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 偏芯調整が可能な結像開口絞りを含む結像光学系の全長が短縮化された小型の光学的位置ずれ検出装置。【解決手段】 照明光学系(2〜6)を介して物体(20)を照明し、結像光学系(6,5,7)を介して形成された物体の像に基づいて物体の位置ずれを光学的に検出する光学的位置ずれ検出装置。結像光学系は、物体側に配置された第1対物レンズ(6)と、像側に配置された第2対物レンズ(7)とを備えている。第1対物レンズの瞳面またはその近傍には、第1対物レンズの光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な結像開口絞り(11)が設けられている。
請求項（抜粋）：
照明光学系を介して物体を照明し、結像光学系を介して形成された前記物体の像に基づいて前記物体の位置ずれを光学的に検出する光学的位置ずれ検出装置において、前記結像光学系は、物体側に配置された第1対物レンズと、像側に配置された第2対物レンズとを備え、前記第1対物レンズの瞳面またはその近傍には、前記第1対物レンズの光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な結像開口絞りが設けられていることを特徴とする光学的位置ずれ検出装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/02 ,  G03B 9/02 ,  G03B 15/00 ,  G03F 7/20 521
FI (6件)：
G01B 11/00 Z ,  G02B 7/02 C ,  G03B 9/02 D ,  G03B 15/00 T ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 525 R
Fターム (21件)：
2F065AA04 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  2F065UU09 ,  2H044AC01 ,  2H080BB47 ,  2H080DD08 ,  5F046FA10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB19 ,  5F046FB20
引用特許：
審査官引用 (8件)
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