バッファを備えた基板ローディング及びアンローディングステーション

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤村元彦 , 北島恒之 , 永岡重幸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-523279
公開番号（公開出願番号）：特表2005-534175
出願日： 2003年07月22日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

基板処理装置に基板をローディング及びアンローディングするステーションを有する基板の基板処理装置であって、該ステーションは、ステーションのローディング及びアンローディングアパーチャを密閉するアパーチャ閉鎖部と、基板保持室のドアを取り外すことによって基板保持室を開放し、アパーチャ閉鎖部を作動させてアパーチャを開放する装置と、開放された基板保持室を垂直軸に沿って使用可能な作動範囲内で精密に位置決めするエレベータとを備えている。該ステーションは、更に基板の位置をマッピングするセンサやステーションを基板処理システムに接続する小型環境スペースを含んでいても良い。

請求項（抜粋）：

基板処理装置に基板をローディング及びアンローディングするステーションを有する前記基板の前記基板処理装置であって、前記ステーションは、前記ステーションのローディング及びアンローディングアパーチャを密閉するアパーチャ閉鎖部と、基板保持室のドアを取り外すことによって前記基板保持室を開放し、前記アパーチャ閉鎖部を作動させて前記アパーチャを開放する装置と、前記開放された基板保持室を垂直軸に沿って使用可能な作動範囲内で精密に位置決めするエレベータと、からなることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 , B65G49/00 , H01L21/027 , H01L21/3065

FI (4件)：

H01L21/68 A , B65G49/00 A , H01L21/302 101G , H01L21/30 562

Fターム (23件)：

5F004AA13 , 5F004BC06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031FA01 , 5F031GA02 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031JA02 , 5F031JA22 , 5F031LA15 , 5F031MA04 , 5F031MA06 , 5F031MA27 , 5F031MA32 , 5F031NA05 , 5F031NA09 , 5F031PA02 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-068465 出願人：イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
ウェーハマッピング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-093381 出願人：ティーディーケイ株式会社, ローツェ株式会社
特開昭63-252439

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