活性表面増強ラマン分光(SERS)基板としての金属被覆ナノ結晶性シリコン

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-513716
公開番号（公開出願番号）：特表2005-524857
出願日： 2003年05月16日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

本明細書に開示される方法と装置300は金属被覆ナノ結晶性多孔質シリコン基板240、340に関する。本発明のある実施形態では、多孔質シリコン基板110、210は希薄弗化水素酸150中での陽極エッチングで形成し得る。陰極電気移動、または公知の技術により、金または銀等のラマン活性金属による薄膜被膜を多孔質シリコン110、210上に被覆する。金属被覆基板240、340はSERS、SERRS、ハイパーラマン分光および/またはCARSラマン分光に対し広い範囲の金属に富む環境を提供する。本発明のある実施形態では、金属被覆基板240、340に金属ナノ粒子を添加してラマン信号を更に増強する事が出来る。開示された方法および装置300を用い、多様な被分析試料を検出、同定および/または定量するためにラマン分光を使用し得る。

請求項（抜粋）：

a)金属被覆多孔質基板を作成する段階と、 b)前記基板を少なくとも1個の被分析試料試を含む試料にさらす段階と、 c)少なくとも1個の被分析試料を検出および/または同定のためにレーザー励起および分光を用いる段階とを備える、方法。

IPC (4件)：

G01N21/65 , G01N33/53 , G01N33/543 , G01N33/553

FI (5件)：

G01N21/65 , G01N33/53 D , G01N33/53 M , G01N33/543 595 , G01N33/553

Fターム (24件)：

2G043AA01 , 2G043BA14 , 2G043BA16 , 2G043BA17 , 2G043DA02 , 2G043EA03 , 2G043EA04 , 2G043FA01 , 2G043FA02 , 2G043GA07 , 2G043GB02 , 2G043GB16 , 2G043HA01 , 2G043JA02 , 2G043JA04 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA05 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA03 , 2G043NA05 , 2G043NA06

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面プラズモン共鳴を利用したセンサ素子、およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366516 出願人：東陶機器株式会社
光導波路型SPR現象測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-355354 出願人：日本電信電話株式会社, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
分析装置、試料操作針および試料取り出し方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-289319 出願人：ミノルタ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Surface-enhanced Raman spectroscopy using metallic nanostructures

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