透明導電性フィルム及び透明導電性シートの製造方法、及びタッチパネル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-368007
公開番号（公開出願番号）：特開2004-197178
出願日： 2002年12月19日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】タッチパネルに用いた際のペン入力耐久性に優れ、特にポリアセタール製のペンを使用し、5.0Nの荷重で20万回の摺動試験を行った後でも透明導電性薄膜が破壊されない、透明導電性フィルム及び透明導電性シートの製造方法、及びこれらの製造方法で得た透明導電性フィルムまたは透明導電性シートを用いたタッチパネルを提供する。【解決手段】金属酸化物または金属を含むターゲットを用いて、スパッタリング法にて透明導電性薄膜を透明プラスチックフィルム上に成膜させる透明導電性フィルムの製造方法であって、スパッタリングを行う際に、スパッタリングに用いるプラズマ雰囲気中の空間電位Vpと、透明導電性薄膜がプラスチックフィルム上に堆積する位置における浮遊電位Vfとの電位差(Vp-Vf)を、0Vを超え20V以下になるように制御することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

請求項（抜粋）：

金属酸化物または金属を含むターゲットを用いて、スパッタリング法にて透明導電性薄膜を透明プラスチックフィルム上に成膜させる透明導電性フィルムの製造方法であって、スパッタリングを行う際に、スパッタリングに用いるプラズマ雰囲気中の空間電位Vpと、透明導電性薄膜がプラスチックフィルム上に堆積する位置における浮遊電位Vfとの電位差(Vp-Vf)を、0Vを超え20V以下になるように制御することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

IPC (7件)：

C23C14/34 , B32B9/00 , B32B15/08 , C23C14/08 , G06F3/03 , G06F3/033 , H01B13/00

FI (8件)：

C23C14/34 N , C23C14/34 R , B32B9/00 A , B32B15/08 D , C23C14/08 D , G06F3/03 320G , G06F3/033 360H , H01B13/00 503B

Fターム (46件)：

4F100AA17A , 4F100AA33 , 4F100AB01A , 4F100AK01B , 4F100AK01D , 4F100AK25 , 4F100AK41 , 4F100AK41J , 4F100AK42 , 4F100AL01 , 4F100AL05 , 4F100AR00C , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100BA10D , 4F100CB05 , 4F100EH662 , 4F100GB41 , 4F100JG01A , 4F100JK06 , 4F100JM02A , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4F100JN01D , 4F100JN18C , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BB02 , 4K029BC09 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC05 , 4K029EA09 , 5B068AA33 , 5B068BB06 , 5B068BD02 , 5B087AA04 , 5B087CC17 , 5B087CC37 , 5G323BA01 , 5G323BA02 , 5G323BB05

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-002774
透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-149613 出願人：東洋紡績株式会社
薄膜の製造方法および光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-070555 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る