特許
J-GLOBAL ID：200903097027747980

プラズマ処理システム用統合電源モジュール

発明者：
ディブレ・ロバート・ディ.

ディブレ・ロバート・ディ. について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人 明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-583064
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530856
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：
【要約】基板を処理するように構成されたプラズマ処理室に、プラズマを維持するためのエネルギを供給する電力供給システム。この電力供給システムには、入力ポート、第一の出力ポート、第二の出力ポート、及び第三の出力ポートを備えた金属製の格納容器が設けられている。更に、格納容器内には配電ボックスが設けられている。この配電ボックスには、金属製の格納容器の外側からAC電力の供給を受ける第一のAC入力ポートが設けられており、受け取ったAC電力は金属製の格納容器の外側にあるAC負荷に第一の出力ポートを介して供給される。更に、配電ボックスと電気的に接続されたDC電源も設けられている。このDC電源は、配電ボックスからAC電力を受け取って、DC電力を出力するように構成されている。このDC電源は金属製の格納容器内に設けられている。DC電力は、金属製の格納容器の外側にあるDC負荷に、第二の出力ポートを介して供給される。加えて、AC電力を受け取るために配電ボックスに電気的に接続された第一の高周波発生器が設けられている。この第一の高周波発生器は、DC電力を受け取るためにDC電源に接続されている。この第一の高周波発生器は、金属製の格納容器内に設けられている。更に、第一の高周波発生器から高周波エネルギを受け取るべく第一の高周波発生器の出力に電気的に接続された第一のインピーダンス整合器が設けられている。この第一のインピーダンス整合器には、インピーダンスを整合した第一の高周波エネルギを、第三の出力ポートを介してプラズマ処理室の第一の電極に供給するための、第一のインピーダンス整合器出力が設けられている。この第一のインピーダンス整合器は金属製の格納容器内に設けられており、金属製の格納容器の外側には、プラズマ処理室に接続される他の高周波発生器は存在していない。
請求項（抜粋）：
基板を処理するプラズマ処理室に、プラズマを維持するエネルギを供給するための電力供給システムであって、 入力ポートと、第一の出力ポートと、第二の出力ポートと、第三の出力ポートとを有する金属製の格納容器と、 前記格納容器内に設けられた第一のAC入力ポートからAC電力の供給を受けるとともに、前記第一の出力ポートを介して該格納容器の外部のAC負荷にAC電力を供給する配電ボックスと、 前記金属製の格納容器内に設けられ、前記配電ボックスから前記AC電力の供給を受けて、該格納容器の外部に設けられたDC負荷に、前記第二の出力ポートを介してDC電力を供給するDC電源と、 前記金属製の格納容器内に設けられ、前記配電ボックスから前記AC電力の供給を受けるとともに、前記DC電源から前記DC電力の供給を受ける第一の高周波発生器と、 前記第一の高周波発生器から受け取った高周波エネルギを、インピーダンスを整合した第一の高周波エネルギとして、前記プラズマ処理室の第一の電極に前記第三の出力ポートから供給するとともに、該プラズマ処理室に接続された全ての高周波発生器を格納する前記金属製の格納容器内に設けられている第一のインピーダンス整合器と を備える電力供給システム。
IPC (6件)：
H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46
FI (6件)：
B01J 19/08 H ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 B
Fターム (23件)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BC01 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075DA01 ,  4G075EC21 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  5F004BA00 ,  5F004BA09 ,  5F004BB11 ,  5F004CA03 ,  5F045AA08 ,  5F045BB08 ,  5F045BB20 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045DQ14 ,  5F045EH13
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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