特許
J-GLOBAL ID：200903097093201948

ダイシングシートおよびチップ体の製造方法

発明者：
佐藤 陽輔

佐藤 陽輔 について

, 
若山 洋司

若山 洋司 について

, 
田矢 直紀

田矢 直紀 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (3件)： 前田 均 ,  鈴木 亨 ,  圓尾 龍哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-077906
公開番号（公開出願番号）：特開2008-243858
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】レーザーダイシングにおいて優れた性質が期待されるポリウレタンアクリレートフィルムを使用した基材のエキスパンド後の形状復元性を改善する。【解決手段】ダイシングシートは、ポリウレタンアクリレートからなる基材と、その片面に形成された粘着剤層とからなる。ポリウレタンアクリレートが、ポリウレタンアクリレート100重量%あたり、ウレタンアクリレート系オリゴマー単位30〜70重量%より形成され、かつウレタンアクリレート系オリゴマーが、該ウレタンアクリレート系オリゴマー100重量%あたり、構成単位としてエチレンオキシ基35〜95重量%を有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ポリウレタンアクリレートからなる基材と、その片面に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、 該ポリウレタンアクリレートが、該ポリウレタンアクリレート100重量%あたり、ウレタンアクリレート系オリゴマー単位30〜70重量%より形成され、かつウレタンアクリレート系オリゴマーが、該ウレタンアクリレート系オリゴマー100重量%あたり、構成単位としてエチレンオキシ基35〜95重量%を有するダイシングシート。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  C09J 7/02
FI (3件)：
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 B
Fターム (14件)：
4J004AA05 ,  4J004AA08 ,  4J004AA10 ,  4J004AB02 ,  4J004AB07 ,  4J004BA02 ,  4J004CA06 ,  4J004DA02 ,  4J004DA03 ,  4J004DA04 ,  4J004DB02 ,  4J004EA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA08
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM