特許
J-GLOBAL ID：200903097104548295
レジスト除去用感圧性接着剤とその接着シ-ト類
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145561
公開番号（公開出願番号）：特開平8-311411
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：
【要約】【目的】 不要となつたレジスト膜画像を接着シ-ト類を用いて剥離除去する際の剥離性不良の問題を改善し、レジスト膜画像を簡単かつ確実に剥離除去することを目的としている。【構成】 半導体基板などの物品上に存在するレジスト膜画像に接着シ-ト類を貼り付け、この接着シ-ト類と上記画像とを一体に剥離するにあたり、上記の接着シ-ト類として、基材上にそれ自体または溶液状態でのPHが6以上の物質を含むレジスト除去用感圧性接着剤の層を設けたものを使用する。
請求項（抜粋）：
それ自体または溶液状態でのPHが6以上の物質を含んでなるレジスト除去用感圧性接着剤。
IPC (4件)：
C09J 5/00 JHB
, C09J 5/00 JGR
, G03F 7/42
, H01L 21/027
C09J 5/00 JHB
, C09J 5/00 JGR
, G03F 7/42
, H01L 21/30 572 Z
