圧力評価方法及び光導波路型圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡崎豊野
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-390963
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156178
出願日： 2003年11月20日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】温度変化に対して影響が少なく、且つヒステリシス補正を必要としない、高感度な圧力検出が可能で、しかも取扱いが簡単な光導波型圧力センサを提供する。【解決手段】光導波路型圧力センサは、被検査部材表面に当接するハードコート膜5と、前記光ファイバー3の少なくとも一部に形成される弾性導波路6と、光ファイバー3中に出入射する光の光学的変化を検知する検知部とを備え、前記弾性導波路6は、ハードコート膜5を介して伝播する被検査部材表面の圧力により弾性変形する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光導波路を用いた圧力評価方法において、光導波路の少なくとも一部に、弾性変形する弾性導波路を形成し、前記弾性導波路を被検査部材表面に直接又は間接的に当接して、弾性導波路の弾性変形による光導波路の透過光又は反射光の光学的変化を検知することにより、前記被検査部材に加わる圧力を評価することを特徴とする圧力評価方法。

IPC (1件)：

G01L9/00

FI (1件)：

G01L9/00 B

Fターム (7件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC34 , 2F055DD11 , 2F055EE31 , 2F055FF11 , 2F055GG49

引用特許：

出願人引用 (2件)

光学的集積歪み干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-061489 出願人：ダイムラー-ベンツ・アクチエンゲゼルシヤフト
光導波型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-040171 出願人：三菱重工業株式会社

審査官引用 (9件)

特開平3-090830
特開昭62-002130
光学素子及びそれを用いた計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-354114 出願人：武藤真三

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