特許
J-GLOBAL ID:200903097272984599
回転速度センサ
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
矢野 敏雄
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-558430
公開番号(公開出願番号):特表2005-514609
出願日: 2002年09月25日
公開日(公表日): 2005年05月19日
要約:
基板とコリオリ要素(2a,2b)とを有する回転速度センサが提案されており、コリオリ要素(2a,2b)は、基板の表面上に設けられており、コリオリ要素(2a,2b)は、第1の軸(X)に対して平行に振動するように励振することができ、コリオリ要素(2a,2b)は、コリオリ力に基づいて、第1の軸(X)に対してほぼ垂直方向の第2の軸(Y)での偏移を検出し、第1の軸(X)及び第2の軸(Y)は、基板の表面に対して平行に設けられており、力を伝達する手段(19,20)が設けられており、該手段(19,20)は、基板とコリオリ要素(2a,2b)との動的な力作用を伝達するように設けられている。
請求項(抜粋):
基板とコリオリ要素(2a,2b)とを有する回転速度センサであって、前記コリオリ要素(2a,2b)は、基板の表面上に設けられており、前記コリオリ要素(2a,2b)は、第1の軸(X)に対して平行に振動するように励振することができ、前記コリオリ要素(2a,2b)は、コリオリ力に基づいて、前記第1の軸(X)に対してほぼ垂直方向の第2の軸(Y)での偏移を検出し、前記第1の軸(X)及び前記第2の軸(Y)は、前記基板の表面に対して平行に設けられている回転速度センサにおいて、
基板とコリオリ要素(2a,2b)との動的な力作用を伝達する力伝達手段(19,20)が設けられていることを特徴とする回転速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2F105BB03
, 2F105BB07
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD07
引用特許: