特許

J-GLOBAL ID：200903097281302182

ニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法、圧電薄膜振動子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器

発明者： 樋口 天光 ,  木島 健 ,  上野 真由美
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  竹腰 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-097977
公開番号（公開出願番号）：特開2006-279713
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体100Bは、基板16と、基板16の上方に形成された電極層15と、電極層15の上方に形成された、ニオブ酸カリウム層14またはニオブ酸カリウム固溶体層と、ニオブ酸カリウム層14またはニオブ酸カリウム固溶体層の上方に形成された、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層13と、を含む。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

R面サファイア基板と、 前記R面サファイア基板の上方に形成された、金属酸化物からなるバッファ層と、 前記バッファ層の上方に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層と、 前記ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層の上方に形成された、ニオブ酸カリウム層またはニオブ酸カリウム固溶体層と、 前記ニオブ酸カリウム層またはニオブ酸カリウム固溶体層の上方に形成された電極層と、 前記電極層の上方に形成された他の基板と、 を含む、ニオブ酸カリウム堆積体。

IPC (5件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/187

FI (6件)：

H03H3/02 B ,  H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J

Fターム (4件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-089821   出願人：ヤマハ株式会社
• 表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-074673   出願人：セイコーエプソン株式会社
• ニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法、圧電薄膜振動子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-060914   出願人：セイコーエプソン株式会社
• ニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-097976   出願人：セイコーエプソン株式会社