特許
J-GLOBAL ID：200903003095926538

ニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器

発明者：
樋口 天光

樋口 天光 について

, 
木島 健

木島 健 について

, 
上野 真由美

上野 真由美 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  竹腰 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-097976
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278870
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体100は、 R面サファイア基板11と、 R面サファイア基板11の上方に形成された、金属酸化物からなるバッファ層12と、 バッファ層12の上方に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層13と、 ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層13の上方に形成された、ニオブ酸カリウム層14またはニオブ酸カリウム固溶体層と、 を含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
R面サファイア基板と、 前記R面サファイア基板の上方に形成された、金属酸化物からなるバッファ層と、 前記バッファ層の上方に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層と、 前記ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層の上方に形成された、ニオブ酸カリウム層またはニオブ酸カリウム固溶体層と、 を含む、ニオブ酸カリウム堆積体。
IPC (7件)：
H01L 41/22 ,  C01G 33/00 ,  H03B 5/30 ,  H03H 9/145 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/64 ,  H01L 41/09
FI (7件)：
H01L41/22 Z ,  C01G33/00 A ,  H03B5/30 A ,  H03H9/145 C ,  H03H9/25 C ,  H03H9/64 Z ,  H01L41/08 C
Fターム (21件)：
4G048AA04 ,  4G048AB01 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AD06 ,  5J079AA06 ,  5J079BA44 ,  5J097AA06 ,  5J097AA23 ,  5J097BB01 ,  5J097BB15 ,  5J097EE08 ,  5J097EE09 ,  5J097FF01 ,  5J097GG05 ,  5J097HA00 ,  5J097HA01 ,  5J097HA03 ,  5J097KK06 ,  5J097KK08 ,  5J097KK09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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