マーキングプローバ装置およびインカー制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069603
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269274
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、インク打点時のインカー先端と半導体ウェハの接触圧を検知して一定の圧力でインクマークを行うことでマークの大きさのばらつきを低減させるマーキングプローバ装置およびインカー制御方法を提供することを課題とする。【解決手段】インク打点手段(インカー)11の先端と半導体ウェハ12との接触圧を検出する接触圧検知手段(圧力センサー)21を備え、この接触圧検知手段(圧力センサー)21でインク打点手段(インカー)11の先端と半導体ウェハ12との接触時の圧力を検知し、プローバ制御手段10で接触圧を制御して常に一定の圧力でインク打点を行う。

請求項（抜粋）：

半導体集積回路の良否判定の目印をつける際に、インクマークを行う治具であるインク打点手段の先端と半導体ウェハのインク打点時の接触圧を検知して所定一定圧力でインクマークを行うことでマークの大きさのばらつきを低減させるマーキングプローバ装置であって、前記インク打点手段の先端と半導体ウェハの接触時の接触圧を検知する接触圧検知装置と、当該接触圧を制御して常に所定一定圧力でインク打点を行うプローバ制御装置とを有することを特徴とするマーキングプローバ装置。

Fターム (5件)：

4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DA01 , 4M106DA02 , 4M106DJ01

引用特許：

審査官引用 (3件)

プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-097998 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロンエフイー株式会社
半導体試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-219597 出願人：新日本製鐵株式会社
プロービング方法およびプローバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-304682 出願人：株式会社東京精密

前のページに戻る