セラミックグリーンシートの加工方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102706
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340819
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】【課題】セラミックグリーンシートに複数個の貫通孔を効率よく形成することを可能にする。【解決手段】レーザビーム2を、回折格子3を通過させて複数個のレーザビームに分光し、ガルバノスキャンミラー4,4で反射させてセラミックグリーンシート10に照射してセラミックグリーンシートの所定の位置に複数個の貫通孔15を同時に形成した後、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変化させて、レーザビームのセラミックグリーンシートへの照射を繰り返し、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変えることで貫通孔を形成することができる領域のすべてに貫通孔を形成した後、セラミックグリーンシートを所定量だけ移動させ、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変化させてレーザビームのセラミックグリーンシートヘの照射を繰り返し、セラミックグリーンシートの全体の所定の位置に複数個の貫通孔を形成する。

請求項（抜粋）：

セラミックグリーンシートに複数個の貫通孔を形成するためのセラミックグリーンシートの加工方法であって、パルス状のレーザビームを放射するレーザ光源と、レーザ光源の近傍に配置され、レーザビームを複数個のレーザビームに分光する回折格子と、レーザビームを所定の反射角度で反射させるガルバノスキャンミラーと、ガルバノスキャンミラーにより反射されたレーザビームを個々に集光する集光レンズと、セラミックグリーンシートを所定の位置関係となるように配設し、レーザ光源から放射されたパルス状のレーザビームを、前記回折格子を通過させて複数個のレーザビームに分光し、分光されたパルス状のレーザビームをガルバノスキャンミラーで反射させてセラミックグリーンシートに照射し、セラミックグリーンシートの所定の位置に複数個の貫通孔を同時に形成した後、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変化させて、レーザビームのセラミックグリーンシートへの照射を繰り返し、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変えることで異なる位置に貫通孔を形成することができる領域のすべてに貫通孔を形成した後、セラミックグリーンシートを所定量だけ移動させ、さらに、ガルバノスキャンミラーの反射角度を変化させて、レーザビームのセラミックグリーンシートヘの照射を繰り返し、セラミックグリーンシートの全体の所定の位置に複数個の貫通孔を形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (3件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06

FI (4件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 C , B23K 26/06 Z

Fターム (11件)：

4E068AF02 , 4E068CD04 , 4E068CD08 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4E068DB12 , 4G055AA08 , 4G055AA10 , 4G055AC01 , 4G055BA74 , 4G055BA83

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第3458759号
特許第3458759号
セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-045838 出願人：株式会社村田製作所

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