基板搬送装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-093372
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286320
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】異なる幅の基板への対応を容易且つ速やかに行うことができ、安定した搬送を実現可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】洗剤ブラシ室10、純水シャワー室20及び乾燥室30を連続して形成し、内部に基板搬送用の複数の搬送ローラ40を平行に配設する。搬送ローラ40をシャフト41の左右に2つ設ける。搬送ローラ40に、その径がシャフト41の中間に向かって徐々に小さくなる複数の段差部40aを形成する。洗剤ブラシ室10内に、基板を上下から挟持した状態で洗浄する上下のブラシ11a,11bを設ける。上下のブラシ11a,11bをそれぞれ個別に上下動させるブラシ昇降機構15を設ける。乾燥室30内に、基板の上下に空気流を吹き付ける上下のエアナイフ31a,31bを設ける。上下のエアナイフ31a,31bをそれぞれ個別に上下動させるエアナイフ昇降機構35を設ける。

請求項（抜粋）：

基板を水平状態で搬送する搬送手段を複数備え、前記搬送手段は、駆動部によって回動可能に設けられたシャフトと、前記シャフトを軸とする搬送ローラとによって構成された基板搬送装置において、各シャフトにおける前記搬送ローラは、前記基板の幅方向の両端部に対応する位置に分離して設けられ、前記搬送ローラには、複数種の基板の幅に対応する複数の段差が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/304 644 , H01L 21/304 648

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/304 644 D , H01L 21/304 648 A

Fターム (7件)：

5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA53 , 5F031MA23 , 5F031PA16 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (6件)

液処理装置の基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-126743 出願人：シャープ株式会社
多種類のカセツトの共通搬送機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-293589 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-159326 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

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