特許
J-GLOBAL ID：200903097697094031
搬送装置
出願人/特許権者： ,
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社 について
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317101
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150172
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】簡単な構成で精度の高い相対位置を求め、高精度の搬送を可能にするととも搬送作業の効率を向上させることができる搬送装置を提供する。【解決手段】駆動制御回路部42は搬送アーム部20の各アーム23,25,27を回動させて、ハンド部28を回転ステージ部30のウェハ検出装置35の検出範囲まで案内する。その時のウェハ検出装置35からの検出信号SGに基づいて演算制御回路部41はハンド部内端距離を演算する。ハンド部内端距離に基づいて駆動制御回路部42は、ハンド部28の保持中心Pが回転テーブル33の回転中心と一致するための各アーム23,25,27を回動角を求めその回動角を補正回動角として記憶する。回転テーブル32にウェハWを載置する場合、各アーム23,25,27を補正回動角にするとハンド部28の保持中心Pと回転テーブル33の回転中心を一致させることができる。
請求項（抜粋）：
被搬送物のステージ部への載置及び前記ステージ部から被搬送物の取り出しを搬送アーム部のハンド部を用いて行う搬送装置において、前記ステージ部に設けられそのステージ部に載置される前記被搬送物の位置を検出する第1のセンサと、前記ステージ部に設けられ前記搬送アーム部のハンド部の位置を検出する第2のセンサと、前記第1センサからの前記ステージ部に対する前記被搬送物の位置情報と、前記第2センサからの前記ステージ部に対する前記ハンド部の位置情報とに基づいて前記搬送アーム部と前記ステージ部との間の相対位置情報を演算する演算制御部と、前記演算制御部からの相対位置情報に基づいて前記搬送アーム部のハンド部を制御して該ハンド部の位置決めを行う駆動制御部とを備えた搬送装置。
IPC (6件)：
FI (6件)：
引用特許：
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