特許
J-GLOBAL ID：200903097752378362
位置合わせピンを用いないFIMSインタフェース
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-546010
公開番号（公開出願番号）：特表2004-515065
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
ポートドア(26)上でガイドピンを使用せずに、ロードポート組立体上のポートドア(26)に対するポッドドア(22)の正しい位置合わせを保証する前部開放式インタフェースメカニカルスタンダード(front opening interface mechanical standard )、即ち、“FIMS”システムが開示される。好ましい実施形態では、ロードポート組立体は、FOUPの底部に設けられたスロットと嵌合してロードポート組立体上でのFOUPの固定且つ再現可能な位置をもたらすために設けられたキネマチックピン(27A,27B)を有している。ロードポート組立体は、ポートドア(26)の外面から外方に突き出ていて、ポッドドア内のドアラッチ組立体のスロット(33)と嵌合する1対のラッチキー(22)を更に有している。ロードポート組立体は、ポートドア(26)に設けられた真空シールを更に有するのがよい。一実施形態では、上記制約下において、ロードポート組立体は当初、取外し自在な位置合わせピン(40)を有するのがよい。位置合わせピン(40)は、校正器具と連係して働いてロードポート組立体上でのキネマチックピン(27A,27B)のそれぞれの高さ及び全体的な高さを設定する。
請求項（抜粋）：
半導体製造プロセスと関連した1以上の加工物を収容している容器を受け入れてこれを開放するインタフェースであって、容器は、シェル及び垂直方向に差し向けられているドアを有し、インタフェースは、容器を支持する位置合わせ特徴部を有し、垂直方向差し向けドアは、少なくとも1つのスロットを有し、インタフェースは、垂直表面と、前記垂直表面から突き出ていて、前記少なくとも1つのスロットと嵌合できる少なくとも1つのキーとを有し、前記少なくとも1つのキーは、容器を開放し、垂直方向差し向けドアを前記垂直表面に結合でき、前記インタフェースは、前記垂直表面に設けられた少なくとも1つの穴と、前記少なくとも1つの穴と嵌合できる少なくとも1本の取外し自在な位置合わせピンとを更に有し、前記少なくとも1本の取外し自在な位置合わせピンは、前記位置合わせ特徴部の位置を調節するよう前記少なくとも1つの穴内に位置決めされ、前記少なくとも1本の取外し自在なピンは、容器をインタフェース上に渡すために前記インタフェースから取り外されることを特徴とするインタフェース。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031EA11
, 5F031EA14
, 5F031FA03
, 5F031KA02
, 5F031KA20
, 5F031MA07
, 5F031NA09
, 5F031NA10
, 5F031PA02
