特許
J-GLOBAL ID:200903067074282655
クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村井 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-330835
公開番号(公開出願番号):特開平11-150178
出願日: 1997年11月17日
公開日(公表日): 1999年06月02日
要約:
【要約】【課題】 クリーンボックスの開閉蓋の外面を係止しているチャックをクリーンボックス側方の非クリーン空間から解除可能として、チャック開閉に伴う塵埃の発生を防止する。【解決手段】 一側面に開口を有するボックス本体21と、該ボックス本体側に真空吸着されて前記開口を気密に閉成する開閉蓋23と、該開閉蓋23を前記ボックス本体外側にて係止自在で前記ボックス本体に設けられた複数のチャックとを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスを用いる。また、そのクリーンボックスのチャックは、前記開口のある側面に対して側方位置となる前記ボックス本体の外側面よりチャック解除手段120にて解除操作が可能になっている。
請求項(抜粋):
一側面に開口を有するボックス本体と、該ボックス本体側に真空吸着されて前記開口を気密に閉成する開閉蓋と、該開閉蓋を前記ボックス本体外側にて係止自在で前記ボックス本体に設けられた複数のチャックとを備え、排気手段及び移送手段を持たないことを特徴とするクリーンボックス。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 21/68 T
, B65G 49/07 L
引用特許:
出願人引用 (11件)
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真空容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-344892
出願人:株式会社荏原製作所
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特開平4-226049
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基板の運搬兼保管箱
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-255175
出願人:松下電器産業株式会社
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審査官引用 (5件)
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特開昭63-293849
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真空容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-344892
出願人:株式会社荏原製作所
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特開平4-226049
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