特許
J-GLOBAL ID：200903097768304261
カーボンナノ構造の製造装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-071437
公開番号（公開出願番号）：特開2005-255492
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 カーボンナノ構造の製造装置およびその製造方法に関し、基板上に垂直配向で、かつ長尺のカーボンナノチューブあるいはカーボンナノファイバーを形成する。【解決手段】 真空排気手段12にて真空排気してなる真空室11を内部に形成した管体10と、管体10に設けられ真空室11内に炭素系ガスを供給するガス導入手段13と、管体10に設けられ真空室11内を加熱する電気炉14と、真空室11内に設けられプラズマ放電する平行平板電極15,16とを備えたカーボンナノ構造の製造装置であって、平行平板電極15,16の一方にカーボンナノ構造を形成する基板を配置して、両電極15,16間にパルス電圧を印加することにより、基板上にカーボンナノ構造を形成するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空排気手段にて真空排気してなる真空室を内部に形成した管体と、前記管体に設けられ前記真空室内に炭素系ガスを供給するガス導入手段と、前記管体に設けられ前記真空室内を加熱する加熱手段と、前記真空室内に設けられプラズマ放電する平行平板電極とを備えたカーボンナノ構造の製造装置であって、
前記平行平板電極の一方にカーボンナノ構造を形成する基板を配置して、両電極間にパルス電圧を印加することにより、前記基板上にカーボンナノ構造を形成することを特徴とするカーボンナノ構造の製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
4G146AA11
, 4G146AC03B
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146DA12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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