特許
J-GLOBAL ID:200903097802776615

顕微鏡のビーム路における光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-528216
公開番号(公開出願番号):特表2001-509278
出願日: 1997年12月12日
公開日(公表日): 2001年07月10日
要約:
【要約】顕微鏡、とりわけ共焦点走査顕微鏡のビーム路における光学装置であって、光源(2)と対象物(3)との間の照明ビーム路(1)にも、検知器(5)と対象物(3)との間の検知ビーム路(4)にも、それぞれ1つのホール絞り-照明ホール絞り(6)ないし検知ホール絞り(7)-が配置されている。この光学装置は、連続的深度識別のために、並びに対物レンズ、波長、および効率に光学的に適合するために、少なくともホール絞り(6,7)の1つと対象物(3)との間に、光学的に有効なホール絞り直径を変化するための可変光学系(8)が設けられているように構成して改善される。
請求項(抜粋):
顕微鏡、例えば共焦点走査顕微鏡のビーム路における光学装置であって、光源(2)と対象物(3)との間の照明ビーム路(1)にも、検知器(5)と対象物(3)との間の検知ビーム路(4)にも、それぞれ1つのホール絞り-照明ホール絞り(6)ないし検知ホール絞り(7)-が配置されている形式の光学装置において、 少なくともホール絞り(6,7)の1つと対象物(3)との間に、光学的に有効なホール絞り直径を変化させるための可変光学系(8)が設けられている、ことを特徴とする光学装置。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/36
FI (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/36
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 共焦点光学系
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-297161   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 共焦点型焦点位置検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-083683   出願人:ブラザー工業株式会社
  • 共焦点型光学顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-264076   出願人:ウシオ電機株式会社
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