特許
J-GLOBAL ID：200903097822636500

水晶デバイスの製造方法

発明者：
梅津 一成

梅津 一成 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-357508
公開番号（公開出願番号）：特開2006-166275
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 本発明は、容易に製造可能な水晶振動子の製造方法の提供。 【解決手段】 水晶板に吸収され、かつ、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を基底状態から第1の励起状態に励起させる第1の光と、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を前記第1の励起状態から第2の励起状態に励起させる第2の光とを前記水晶板に略同時に照射することによりアブレーションを生じさせ、前記水晶板に所定パターンの溝を形成する工程を含む水晶振動子の製造方法により、上記課題を解決する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
水晶板に吸収され、かつ、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を基底状態から第1の励起状態に励起させる第1の光と、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を前記第1の励起状態から第2の励起状態に励起させる第2の光とを前記水晶板に略同時に照射することによりアブレーションを生じさせ、前記水晶板に所定パターンの溝を形成する工程を含むことを特徴とする水晶デバイスの製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (4件)：
H03H3/02 D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (10件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC05 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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