特許
J-GLOBAL ID：200903097829490209

ケージ様構造を主体とする低誘電定数有機誘電体

発明者：
ラウ,クライスラー

ラウ,クライスラー について

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リウ,フオン・チユワン

リウ,フオン・チユワン について

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コロリヨフ,ボリス

コロリヨフ,ボリス について

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ブルーク,エマ

ブルーク,エマ について

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ジエレビン,ルスラン

ジエレビン,ルスラン について

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リヨン,ロジヤー

リヨン,ロジヤー について


出願人/特許権者：
ハネウエル・インターナシヨナル・インコーポレーテツド

ハネウエル・インターナシヨナル・インコーポレーテツド について


代理人 (1件)： 川口 義雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-575466
公開番号（公開出願番号）：特表2003-530464
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：
【要約】低誘電定数材料は芳香族部分と第1の反応性基をもつ第1の主鎖と、芳香族部分と第2の反応性基をもつ第2の主鎖をもち、第1の主鎖と第2の主鎖は架橋剤を加えずに架橋反応で第1の反応性基と第2の反応性基を介して架橋され、少なくとも10個の原子をもつケージ構造が第1の主鎖と第2の主鎖の少なくとも一方に共有結合している。
請求項（抜粋）：
第1の芳香族部分と第1の反応性基をもつ第1の主鎖と、第2の芳香族部分と第2の反応性基をもつ第2の主鎖と、および第1の主鎖と第2の主鎖の少なくとも一方に共有結合したケージ構造とを含み、第1の主鎖と第2の主鎖が架橋反応で第1の反応性基と第2の反応性基を介して架橋され、前記ケージ構造が少なくとも10個の原子を含む低誘電定数材料。
IPC (3件)：
C08G 81/00 ,  C08G 65/40 ,  H01L 21/312
FI (3件)：
C08G 81/00 ,  C08G 65/40 ,  H01L 21/312 A
Fターム (10件)：
4J005AA24 ,  4J005BA00 ,  4J005BB01 ,  4J031AA53 ,  4J031AB04 ,  4J031AC04 ,  4J031AF24 ,  5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AH02
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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