特許
J-GLOBAL ID：200903097840580678

高周波発生器の位相および周波数の外部からの制御

発明者：
デイビッド・ジェイ・クームー

デイビッド・ジェイ・クームー について


出願人/特許権者：
エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド

エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド について


代理人 (3件)： 山崎 宏 ,  前田 厚司 ,  加野 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-329021
公開番号（公開出願番号）：特開2006-304585
出願日： 2005年11月14日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】周波数および位相を正確に制御する高周波発生器を提供する。【解決手段】周波数および位相を正確に制御する高周波発生器14a,14bは、電力源222a,222bと、センサ224a,224bと、センサ信号処理ユニット226a,226bとを含む。センサ信号処理ユニット226a,226bは、電力源222a,222bおよびセンサ224a,224bに接続され、高周波発生器14a,14bの位相および/または周波数を制御する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
高周波電力源と、 前記高周波電力源に接続したセンサと、 前記高周波電力源および前記センサに接続したセンサ信号処理ユニットとを含み、 前記センサ信号処理ユニットは、外部高周波ソースからの入力を受け入れ、高周波発生器の位相および周波数を制御する制御信号を生成することを特徴とする高周波発生器。
IPC (2件)：
H02M 5/297 ,  H02M 5/293
FI (2件)：
H02M5/297 ,  H02M5/293 A
Fターム (9件)：
5H750AA00 ,  5H750AA02 ,  5H750AA03 ,  5H750BA01 ,  5H750BA05 ,  5H750CC06 ,  5H750DD01 ,  5H750DD21 ,  5H750FF07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第6707255号
審査官引用 (6件)
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