特許

J-GLOBAL ID：200903097845938473

弾性表面波装置およびその製造方法

発明者： 大西 慶治 ,  佐藤 浩輝 ,  冨田 佳宏
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047761
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252789
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 小型の弾性表面波装置を精度高くしかも簡便に作製できるようにする。【解決手段】 櫛形電極103を有する圧電基板101に補助基板102を設け、この補助基板102に、櫛形電極103によって励振される弾性表面波を反射させる反射境界面104を設けて弾性表面波装置を構成する。また、弾性表面波装置の製造方法において、補助基板102が配置される圧電基板101の表面領域、および補助基板102の接合面を親水化処理したのち、圧電基板101の前記表面領域に、水酸基を有する液体を介して補助基板102の接合面を重ね合わせて接合する。

請求項（抜粋）：

櫛形電極を有する圧電基板に補助基板を設け、この補助基板に、前記櫛形電極によって励振される弾性表面波を反射させる反射境界面を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

FI (3件)：

H03H 9/25 Z ,  H03H 9/25 C ,  H03H 3/08

Fターム (11件)：

5J097AA24 ,  5J097AA28 ,  5J097AA29 ,  5J097AA32 ,  5J097EE02 ,  5J097EE08 ,  5J097FF04 ,  5J097HA03 ,  5J097HA07 ,  5J097HA08 ,  5J097HA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 弾性表面波装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-080272   出願人：松下電器産業株式会社
• 表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-318029   出願人：松下電器産業株式会社
• 表面波振動素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-173565   出願人：富士通株式会社
• 特開平2-237210