特許
J-GLOBAL ID：200903097848449228
光学絞り用NDフィルタと該NDフィルタを備えた光学絞り装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-368938
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171542
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】NDフィルタ蒸着工程におけるプラスチック基板の伸縮変形を低減し、皺の発生を防止する。【解決手段】NDフィルタ10の基材となるプラスチック基板24は、全光線透過率90%以上を有し、濁度を示すヘイズ値は0.5%以下であるポリイミド系樹脂から成り、ガラス転移温度が200°C以上である。この基板24上に反射率を低下させるためのAl2O3膜41と、透過率を低下させるためのTiOx膜42を交互に積層し、最表層には低屈折材料であるMgF2膜43を蒸着することにより、反射防止効果を更に高めている。蒸着時の成膜温度が200°C前後に達しても基板24の加熱温度よりも、ガラス転移温度が十分に高いので基板24の表面に生ずる皺の発生を抑制できる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ガラス転移温度が200°C以上のプラスチック基板上に、光量を調整する蒸着膜を積層したことを特徴とする光学絞り用NDフィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H042AA06
, 2H042AA13
, 2H042AA22
, 2H080AA18
, 2H080AA31
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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