蛍石単結晶の熱処理装置及び熱処理方法

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-047225
公開番号（公開出願番号）：特開平11-240800
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】熱処理時の容器内圧力を常時1気圧に制御可能であり、また容器を徐冷する段階等において容器が変形・破損することがなく、高精度な光学系に使用できる蛍石単結晶を生産性よく得ることができる熱処理装置及び熱処理方法の提供。【解決手段】蛍石単結晶6を収納後に真空排気される第1容器2と、第1容器内に配置され蛍石単結晶6及びフッ素化剤4を収納する第2容器3と、第1容器2に接続された真空排気系Vと、第1容器2の外側に配置されたヒーターHとを有し、真空排気系Vの排気管7の途中に、分岐管8と、各分岐管8に密閉接続されたゴム風船1と、風船内ガスの外部排気を制御することにより風船の膨らみ(膨らみの有無、膨らみ量)を制御するバルブ5とが設けられるとともに、風船1内の圧力が第1容器2内の圧力と同一となるように構成され、風船1は第1容器2内の圧力が所定圧力を越えたときに膨らむ。

請求項（抜粋）：

少なくとも、蛍石単結晶を収納した後に密閉されて真空排気される気密化可能な容器を有する熱処理装置であり、容器内の圧力が所定圧力を越えたときに膨らむ一または二以上の風船(容器内圧力の検出調節用)と、風船内ガスの外部排気を制御することにより風船の膨らみ(膨らみの有無、膨らみ量)を制御するバルブとを前記容器の外部に有する蛍石単結晶の熱処理装置。

IPC (3件)：

C30B 33/02 , C30B 35/00 , G02B 1/02

FI (3件)：

C30B 33/02 , C30B 35/00 , G02B 1/02

引用特許：

審査官引用 (6件)

シリコン含有蛍石とそれを用いた光学系及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-068017 出願人：キヤノン株式会社
発泡体テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-340855 出願人：積水化学工業株式会社
特開昭60-005122

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