特許
J-GLOBAL ID：200903097959361222

可変キャパシタ及びその製造方法

発明者：
島内 岳明

島内 岳明 について

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宮下 勉

宮下 勉 について

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佐藤 良夫

佐藤 良夫 について

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今井 雅彦

今井 雅彦 について


出願人/特許権者：
富士通メディアデバイス株式会社

富士通メディアデバイス株式会社 について

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富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-285717
公開番号（公開出願番号）：特開2004-127973
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】小型で容量、容量変化の割合が大きく、容量の微調整が可能な可変キャパシタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板(21)と、該基板に支持された下部可動電極(35)及び上部可動電極(37)と、前記基板に支持され且つ前記可動電極を駆動する複数の下部可動電極用アクチュエータ(271-274)および上部可動電極用アクチュエータ(291-294)とを備える。キャパシタと圧電アクチュエータを同一基板で支持されるように形成したため、小型である。また、キャパシタを構成する2つの電極とも可動であり、容量と、容量変化の割合が大きく、容量の微調整が可能である。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に支持されたキャパシタの2つの可動電極と、前記基板に支持され且つ前記可動電極を駆動する複数の圧電アクチュエータとを備えることを特徴とする可変キャパシタ。
IPC (1件)：
H01G5/16
FI (1件)：
H01G5/16
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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