特許

J-GLOBAL ID：200903098030415030

フォトレジストフィルム

発明者： 村上 滋 ,  小田 通郎
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142316
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327132
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像性、密着性、パターンの形成性に非常に優れたフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 支持体フィルム/感光性樹脂組成物層/保護フィルムからなるフォトレジストフィルムにおいて、保護フィルムとして、感光性樹脂組成物層と接する面の最大粗さ(Ry)が2.0μm以下であるフィルムを用いたフォトレジストフィルム。

請求項（抜粋）：

支持体フィルム/感光性樹脂組成物層/保護フィルムからなるフォトレジストフィルムにおいて、保護フィルムとして、感光性樹脂組成物層と接する面の最大粗さ(Ry)が2.0μm以下であるフィルムを用いたことを特徴とするフォトレジストフィルム。

IPC (3件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/09 501 ,  H05K 3/06

FI (3件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/09 501 ,  H05K 3/06 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

• カラーフィルタ用感光性フィルム、カラーフィルタ用感光性フィルムの製造法及びカラーフィルタの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-252869   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-067591   出願人：日本合成化学工業株式会社
• 感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-255242   出願人：日立化成工業株式会社
• ドライフィルムフォトレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-314929   出願人：コーロンインダストリーズインク
• 感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-260748   出願人：日立化成工業株式会社