特許
J-GLOBAL ID:200903098067081531
研削盤
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
近島 一夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-333470
公開番号(公開出願番号):特開2001-150307
出願日: 1999年11月24日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 2つの砥石の内、移動する砥石の研削面を回転の軸心に対して直角に保つようにする。【解決手段】 研削盤20は、回転軸2に設けられて先端が砥石面4aとなるカップ状の第1の砥石4と、先端が砥石面8aとなり第1の砥石4に対して、先端を同一方向に向けて、砥石面を第1の砥石の砥石面よりも後退させ、且つ径方向に位置を異ならしめて同心状に配されたカップ状の第2の砥石8と、第1の砥石に第2の砥石を軸方向に移動可能に支持するリング状の弾性板6と、第2の砥石の砥石面が第1の砥石の砥石面に対して後退する後退位置と、第2の砥石の砥石面が第1の砥石の砥石面より突出する突出位置とに第2の砥石を移動させる移動手段21と、を備えている。
請求項(抜粋):
回転軸に設けられて先端が砥石面となるカップ状の第1の砥石と、先端が砥石面となり前記第1の砥石に対して、前記先端を同一方向に向けて前記砥石面を前記第1の砥石の砥石面よりも後退させ、且つ径方向に位置を異ならしめて同心状に配されたカップ状の第2の砥石と、前記第1の砥石に第2の砥石を軸方向に移動可能に支持するリング状の弾性板と、前記第2の砥石の砥石面が前記第1の砥石の砥石面に対して後退する後退位置と、前記第2の砥石の砥石面が前記第1の砥石の砥石面より突出する突出位置とに前記第2の砥石を移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする研削盤。
IPC (4件):
B24B 7/00
, B24D 7/00
, B24D 7/14
, B24D 7/16
FI (4件):
B24B 7/00 Z
, B24D 7/00 Z
, B24D 7/14
, B24D 7/16
Fターム (3件):
3C043CC04
, 3C043CC12
, 3C063BA10
引用特許:
審査官引用 (6件)
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特開昭64-034651
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特開昭64-034651
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研磨装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-240350
出願人:株式会社日立製作所
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ウェーハ研磨装置および研磨方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-072150
出願人:三菱マテリアル株式会社
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研磨装置及び研磨方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-316621
出願人:富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
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特開昭56-139865
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