走査型露光装置及び該走査型露光装置を用いるデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281497
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110541
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】走査露光において、原板のパターンを基板上のパターン領域に正確に重ね合わせること。【解決手段】光源9からの露光光で照明された原板14のパターンを基板18上に投影する投影光学系21とその露光光に対して原板と基板を走査する走査手段(14,23)とを有する走査型露光装置において、原板のパターン領域の形状と基板の転写領域の形状とを検出する手段を有する。

請求項（抜粋）：

露光光で照明された原板のパターンを基板上に投影する投影光学系と前記露光光に対して前記原板と前記基板を走査する走査手段とを有する走査型露光装置において、前記原板のパターン領域の形状と前記基板の転写領域の形状とを検出する手段を有することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00

FI (3件)：

G03F 9/00 H , H01L 21/30 516 A , H01L 21/30 518

Fターム (3件)：

5F046BA05 , 5F046DA13 , 5F046DB05

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査型投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-200911 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-100621 出願人：株式会社ニコン
特開昭64-059814

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