特許
J-GLOBAL ID：200903098151949377
処理時間の設定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-141558
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335415
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 簡易な方法でタクト搬送を可能にし、かつ、基板処理装置のスループットを向上させること。【解決手段】 ステップS1で、基板のウエハフロー等を入力し、搬送ロボットTR1,TR2の動作ルーチンの詳細等を決定する。ステップS2で、与えられたウエハフローを複数のフローグループに分離する。ステップS3で、各フローグループFGkごとに搬送所要時間ATR(k)を求める。ステップS4で、各フローグループFGkの各処理ユニットUknごとに処理所要時間UCT(n)を求める。ステップS5で、ステップS3で求めた搬送所要時間ATR(k)とステップS4で求めた各処理所要時間UCT(n)とを比較して最大値を求め、この最大値を最短サイクルタイムGCTkとし、フローグループFGkの最短サイクルタイムGCTkを比較してそのうち最も大きなものを基板処理装置全体としてのタクトタイムとする。ステップS6で、ステップS1で与えられた条件のほか、ステップS2〜S5で求めたタクトタイムに基づいて、基板に予め定められた諸処理を順次施す。
請求項（抜粋）：
基板を処理する複数の処理ユニット間で搬送機構により基板の循環搬送を行うことにより、基板に所定手順の一連の処理を行う基板処理装置における処理時間の設定方法であって、前記搬送機構が前記所定手順に含まれる各処理ユニットにアクセスして基板の交換を行いつつ一回の循環搬送を行うための搬送所要時間と、前記所定手順に含まれる各処理ユニットのそれぞれの処理に要する各処理所要時間と、のうちの最大値である最大所要時間を求める第1の工程と、前記最大所要時間に基づいて、前記搬送機構の循環搬送の周期を決定する第2の工程と、を備えることを特徴とする処理時間の設定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/02
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/30 561
