特許

J-GLOBAL ID：200903098180401321

ドレッシング装置

発明者： 小林 達宜 ,  田中 弘志 ,  力田 直樹 ,  安宅 義忠
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271176
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088010
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 常に良好なドレッシング性能を確保することができ、また、経済的に使用できるドレッシング装置を提供する。【解決手段】 ドレッサー本体12の下面13にカッター15を突出状態に設け、カッター15の刃先を研磨クロス面に当接させて、研磨クロス面と平行方向に相対移動させることにより、研磨クロス面を切削するようにした。

請求項（抜粋）：

研磨クロスにより半導体ウェーハ等の平坦面を有する被研磨材を研磨するための装置に対して適用されて、研磨クロス面をドレスするためのドレッシング装置であって、ドレッサー本体の下面にカッターが突出状態に設けられてなり、前記カッターの刃先を前記研磨クロス面に当接させて、前記研磨クロス面と平行方向に相対移動させることにより、前記研磨クロス面を切削する構成とされていることを特徴とするドレッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058CB05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研磨布表面の再生用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-255935   出願人：京セラ株式会社
• 研磨パッドのためのプリコンディショナおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-029945   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-086970   出願人：株式会社東京精密
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-108887   出願人：住友金属工業株式会社