触針式プローブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-276434
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096518
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】触針子先端に設けた真球1を一定の押し付け力で被測定物面に接触させながら表面形状をなぞり、その触針子2の1軸方向2aの変位をハウジング3に設けた変位センサー10,17で検出して被測定物面の形状を測定する触針式プローブにおいて、プローブシャフトが上下に激しく振動するため、触針子2と被測定面18との接触検出が困難、両者の接触力を精度良く制御することができず、形状測定の不安定要因となっている。【解決手段】前記触針子2に対し1軸方向2aに作用する粘性物体23を用いた振動減衰機構を備えたことを特徴とする触針式プローブである。

請求項（抜粋）：

触針子先端に設けた真球を一定の押し付け力で被測定物面に接触させながら表面形状をなぞり、その触針子の1軸方向の変位をハウジングに設けた変位センサーで検出して被測定物面の形状を測定する触針式プローブにおいて、前記触針子に対し1軸方向に作用する粘性物体を用いた振動減衰機構を備えたことを特徴とする触針式プローブ。

IPC (2件)：

G01B 21/00 , G01B 5/00

FI (2件)：

G01B 21/00 B , G01B 5/00 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

触針プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-252971 出願人：キヤノン株式会社
タツチ信号プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-274779 出願人：株式会社ミツトヨ
特開平4-031710

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