サイドローブが除去された共焦点自己干渉顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：羽切正治 , 笹川拓 , 小野友彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-169966
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086735
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】主ビームのサイズを減らすことなくサイドローブを除去することを可能にし、数十nmのサイズを有する物体を歪むことなく観察することができる共焦点自己干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】既存の共焦点顕微鏡における自己干渉光学系に代えて、試片からの反射又は蛍光ビームを偏光する第1の偏光板111、上記第1の偏光板を通過したビームを偏光方向により2つのビームに分離する第1の複屈折波長板116、上記第1の複屈折波長板で分離された2つのビームを偏光する第2の偏光板112、上記第2の偏光板を通過した2つのビームを偏光方向により4つのビームに分離する第2の複屈折波長板117、及び上記第2の複屈折波長板で分離された4つのビームを偏光する第3の偏光板113とを有する自己干渉光学系で構成した。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

光源を有する照明装置と、試片と、前記試片の映像を測定する映像検出装置と、凸レンズ又は凹面鏡を有し、前記照明装置からの照明ビームを平面波に変換するビーム拡張装置と、前記ビーム拡張装置からの前記照明ビームを前記試片に誘導し、前記試片からの反射又は蛍光ビームを前記映像検出装置に誘導するビームスプリッタと、前記試片と前記ビームスプリッタとの間に位置し、凸レンズ又は凹面鏡を有し、前記ビームスプリッタを通過した前記照明装置からの前記照明ビームを集光して、前記試片に照射し、前記試片からの前記反射又は蛍光ビームを平面波に変換する集光装置と、前記ビームスプリッタと上記映像検出装置との間に位置し、前記集光装置及び前記ビームスプリッタを通過した前記試片からの上記反射又は蛍光ビームを偏光する第1の偏光板;前記第1の偏光板を通過したビームを、偏光方向により2つのビームに分離する第1の複屈折波長板;前記第1の複屈折波長板で分離された2つのビームを偏光する第2の偏光板;前記第2の偏光板を通過した2つのビームを、偏光方向により4つのビームに分離する第2の複屈折波長板;前記第2の複屈折波長板で分離された4つのビームを偏光する第3の偏光板;を有する自己干渉光学系と、前記自己干渉光学系と前記映像検出装置との間に位置し、前記自己干渉光学系を通過したビームの通過領域を制限する絞りと、前記絞りと前記映像検出装置との間に位置し、凸レンズ又は凹面鏡を有し、前記絞りを通過したビームを集光する結像レンズと、前記結像レンズと前記映像検出装置との間で、前記結像レンズの焦点面に位置するピン穴開口とを有するとともに、前記第1及び第2の複屈折波長板の光軸は、同一の平面に存在し、前記第1及び第2の複屈折波長板の光軸は、全体光学系の光軸から所定の角度で傾き、前記第1及び第2の複屈折波長板の自己干渉の周期は、互いに異なることを特徴とする共焦点自己干渉顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 , G01B 9/02

FI (2件)：

G02B21/00 , G01B9/02

Fターム (26件)：

2F064AA01 , 2F064AA09 , 2F064AA15 , 2F064CC04 , 2F064EE10 , 2F064FF01 , 2F064FF03 , 2F064GG20 , 2F064GG22 , 2F064GG32 , 2F064GG37 , 2F064GG44 , 2F064HH08 , 2H052AA04 , 2H052AA08 , 2H052AA09 , 2H052AB01 , 2H052AB06 , 2H052AB21 , 2H052AB24 , 2H052AB26 , 2H052AC10 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AF02 , 2H052BA12

引用特許：

出願人引用 (7件)

二重共焦点走査顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-036734 出願人：ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
透明試料の照明方法および照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-059837 出願人：ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-282787 出願人：篠原康子

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審査官引用 (7件)

二重共焦点走査顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-036734 出願人：ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
透明試料の照明方法および照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-059837 出願人：ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-282787 出願人：篠原康子

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