特許
J-GLOBAL ID：200903098290701860

薄板縁部の加工方法および加工機

発明者：
田中 好一

田中 好一 について


出願人/特許権者：
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について


代理人 (1件)： 荒船 良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-149934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345788
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 工具の交換を伴うことなく各種の面取り部を形成可能な面取り方法と面取り機を提供する。【解決手段】 薄板と工具の加工部とを接触させ、前記薄板に対して前記工具を相対的に摺動させることによって薄板縁部を加工するにあたり、前記工具として、前記薄板の主面と直交し前記薄板と前記加工部との接触点を含む断面で前記加工部を見た場合に、前記加工部が前記薄板側に向けて弓状に張り出している工具を用い、前記薄板と前記加工部とを接触させると共に、前記薄板の主面に平行で前記薄板に対して接離する方向および前記薄板の主面と直交する方向に前記薄板に対して前記工具を相対的に動作させ、前記薄板および前記加工部双方の接触部位を変えることによって前記薄板縁部を加工するようにした。
請求項（抜粋）：
薄板と工具の加工部とを接触させ、前記薄板に対して前記工具を相対的に摺動させることによって薄板縁部を加工するにあたり、前記工具として、前記薄板の主面と直交し前記薄板と前記加工部との接触点を含む断面で前記加工部を見た場合に、前記加工部が前記薄板側に向けて弓状に張り出している工具を用い、前記薄板と前記加工部とを接触させると共に、前記薄板の主面に平行で前記薄板に対して接離する方向および前記薄板の主面と直交する方向に前記薄板に対して前記工具を相対的に動作させ、前記薄板および前記加工部双方の接触部位を変えることによって前記薄板縁部を加工するようにしたことを特徴とする、薄板縁部の加工方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 621 ,  B24B 9/00 601
FI (2件)：
H01L 21/304 621 E ,  B24B 9/00 601 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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