特許
J-GLOBAL ID：200903098450336098
配列カーボンナノチューブの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-073525
公開番号（公開出願番号）：特開2006-256881
出願日： 2005年03月15日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】自己組織的に触媒金属が配置,配列された状態とすることで、カーボンナノチューブを微小な領域に端点をそろえて配列された状態に形成する。【解決手段】基板101の主表面に、例えば、鉄及びコバルトなど、CVD法によりカーボンナノチューブが成長するときの触媒となる金属(触媒金属)から構成された触媒金属層103が形成された状態とする。次に、触媒金属層103が形成された基板101が例えば500〜700°C程度に加熱された状態とすることで、ステップ102端に触媒金属が島状に凝集する状態とし、ステップ102端に、触媒金属からなる触媒金属粒104が配置された状態とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
炭素原料ガスを用いた化学蒸着法により触媒金属からなる触媒金属粒にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
表面に原子ステップ構造が形成された基板を用意する第1工程と、
前記基板の表面に前記触媒金属からなる所定の膜厚の触媒金属層が形成された状態とする第2工程と、
前記基板を加熱して前記触媒金属が溶解された状態とし、溶解した前記触媒金属が前記基板の表面で島状に凝集して触媒金属粒が形成された状態とする第3工程と、
炭素原料ガスを用いた化学蒸着法により、前記触媒金属粒にカーボンナノチューブが形成された状態とする第4工程と
を少なくとも備えることを特徴とする配列カーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AD29
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146DA03
