特許
J-GLOBAL ID：200903098452559167

誘電体バリア放電ランプ装置

発明者：
福田 悟

福田 悟 について

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菱沼 宣是

菱沼 宣是 について

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杉岡 晋次

杉岡 晋次 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312155
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135279
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 大面積化する被処理物に対して均一に紫外線を照射することができ、被処理物の大きさに容易に対応できる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することにある。【解決手段】 本発明の誘電体バリア放電ランプ装置は、長手方向に伸びる側壁と側壁の両端に設けられた端壁とによって密閉された収納ケース内に、誘電体バリア放電ランプが配置され、収納ケースの側壁の一部が誘電体バリア放電ランプから放射された光を透過する窓部となっており、収納ケースの端壁には収納ケース内を不活性状態にするガスが流通する流通路が形成されるとともに、ランプを出し入れするための開閉扉を兼ねており、収容ケースの窓部がそれぞれ被処理物方向に向くように収納ケースを複数個並べて配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
長手方向に伸びる側壁と当該側壁の両端に設けられた端壁とによって密閉された収納ケース内に、少なくとも1つ以上の誘電体バリア放電ランプが配置され、前記収納ケースの側壁の少なくとも一部が誘電体バリア放電ランプから放射された光を透過する窓部となっており、前記収納ケースの端壁には収納ケース内を不活性状態にするガスが流通する流通路が形成されるとともに、当該収納ケースの少なくとも一方の端壁は、誘電体バリア放電ランプを出し入れするための開閉扉を兼ねており、当該収容ケースの窓部がそれぞれ被処理物方向に向くように収納ケースを複数個並べて配置したことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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