特許
J-GLOBAL ID：200903098529651711

はんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置

発明者：
山田 寛二

山田 寛二 について

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今井 正昭

今井 正昭 について

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橘 義昭

橘 義昭 について


出願人/特許権者：
日本電熱計器株式会社

日本電熱計器株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 将高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217191
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074462
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 チャンバ内の酸素濃度をハンチング現象を生ずることなく短時間で目標の酸素濃度値とする。【構成】 チャンバ3内に不活性ガスと空気とをガス混合タンク27で混合して供給する。制御装置41には空気流量調節弁34の弁開度に対するチャンバ3内の酸素濃度の関係をグラフ関数としてあらかじめプログラムしておき、目標値設定装置43により目標値が変更されたとき、前記グラフ関数を参照して目標値に応じて空気流量調節弁34の弁開度をオープンループで調節し、一定時間後、酸素濃度測定装置42の測定結果と目標値との差の時間的積分値に基づくフィードバック制御により弁開度を調節する構成を特徴としている。
請求項（抜粋）：
チャンバ内に不活性ガスと空気との混合ガスを供給し、前記空気の量を制御して前記チャンバ内の酸素濃度を制御するはんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置であって、前記空気の供給量を調節する空気流量調節手段と、前記不活性ガスと前記空気とを混合して混合ガスを前記チャンバに供給するガス混合手段と、前記チャンバ内の混合ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度測定手段と、前記チャンバ内の酸素濃度の目標値を入力する目標値入力手段と、前記空気流量調節手段の弁開度に対する前記チャンバ内の酸素濃度の関係をグラフ関数としてあらかじめ記憶し、前記目標値が変更されたとき前記グラフ関数を参照して前記変更された目標値に応じて前記空気流量調節手段の弁開度を調節し、一定時間経過後、前記酸素濃度測定手段の測定結果と前記目標値との差の時間的積分値に基づいて前記チャンバ内の酸素濃度が目標値に一致するよう前記空気流量調節手段の弁開度を調節する制御装置と、を備えたことを特徴とするはんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置。
IPC (4件)：
H05K 3/34 507 ,  B05C 15/00 ,  B23K 1/008 ,  B23K 31/02 310
引用特許：
審査官引用 (4件)
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