プラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043008
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233021
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線等、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法において、効率的に、且つ確実に、検査対象領域全面の形状不良を含めた修正すべき欠陥を修正できる検査、修正方法を提供する。【解決手段】順次、(a)撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、(b)抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、(c)電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを有する。

請求項（抜粋）：

プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線等、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法であって、順次、(a)撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、(b)抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、(c)電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを有するものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法。

IPC (5件)：

H01J 9/42 , G01R 31/02 , G09F 9/00 352 , H01J 9/50 , H01J 17/49

FI (5件)：

H01J 9/42 A , G01R 31/02 , G09F 9/00 352 , H01J 9/50 A , H01J 17/49 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-157029
特開平2-264875
線状電極の欠陥検出方法および欠陥検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082345 出願人：大日本印刷株式会社, 株式会社テクノローグ

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